微機電系統(tǒng)（MEMS）是一種技術(shù)，其最一般的形式可以定義為使用微加工技術(shù)制造的小型化機械和機電元件（即設備和結(jié)構(gòu)）。MEMS技術(shù)傳感器是低成本、高精度的慣性傳感器，可用于各種行業(yè)應用。
MEMS或微機電系統(tǒng)是一種基于芯片的技術(shù)，其中傳感器由一對電容板之間的懸浮質(zhì)量組成。當傳感器傾斜時，這種懸浮質(zhì)量會產(chǎn)生電勢的差異。然后，產(chǎn)生的差值被測量為電容的變化。
MEMS技術(shù)確實有其自身的一些優(yōu)勢。MEMS傳感器提供方便的功能，可與所有其他傳感器系列一起使用，而不受任何空間限制。此外，MEMS還利用非常緊湊的微型機器組件，這些組件非常小巧，每個MEMS傳感器都可以輕松安裝到您的手掌中。MEMS傳感器具有IP67密封。這是因為傳感器需要能夠承受-40o至+ 85oC的極端溫度。大多數(shù)使用MEMS傳感器的行業(yè)都在極端溫度下工作。而且，這種密封使傳感器能夠暫時浸入淺水中，從而可以監(jiān)控海上和海底的俯仰和滾動應用。其他電解傳感器可能具有更高的精度，但通常對溫度更敏感。
這些MEMS傳感器的另一個優(yōu)點是抗沖擊和振動。MEMS傳感器在減震環(huán)境中可能不是最持久的，但MEMS傾角計在10-1000Hz時具有10grms的抗振性，加速度計具有100G的抗沖擊性。因此，這些傳感器不能用于軍事應用等高度令人震驚的場景，但它們可以承受工業(yè)測量和控制，鉆井設備和一些巖土工程監(jiān)測。
盡管MEMS傳感技術(shù)很有用，但它們確實有一些局限性。通常，MEMS傳感器在整個溫度范圍內(nèi)具有較大的漂移。對于那些沒有溫度補償或加熱能力的人來說，這可能是值得關(guān)注的。而且，相對于其他傳統(tǒng)且更昂貴的傳感器，MEMS傳感器通常具有較低的精度。因此，您應該始終確定在購買前需要測量的確切內(nèi)容。MEMS傳感器非常適合不需要最高精度的應用，如工業(yè)自動化、平臺調(diào)控、位置控制以及俯仰和滾動測量。這就是為什么MEMS電解傳感器以低成本完美地適用于許多不同的領(lǐng)域。
MEMS是將微傳感器、微驅(qū)動器和微電子等技術(shù)集成到單個微芯片上，這有望成為未來最重要的無線技術(shù)突破之一。
這將通過利用微傳感器和微執(zhí)行器的感知和控制能力增強微電子的計算能力，使智能產(chǎn)品的開發(fā)成為可能。傳感器通過測量機械、熱、生物、化學、光學和磁性現(xiàn)象從環(huán)境中收集信息。然后，電子設備處理從傳感器獲得的信息，并通過一些決策能力指導執(zhí)行器通過移動、定位、調(diào)節(jié)、泵送和過濾來響應，從而控制環(huán)境以獲得某些期望的結(jié)果或目的。
此外，由于MEMS器件是使用與IC類似的批量制造技術(shù)制造的，因此可以以相對較低的成本將前所未有的功能，可靠性和復雜性放置在小型硅芯片上。MEMS技術(shù)在其預期的應用領(lǐng)域以及器件的設計和制造方式方面都非常多樣化和豐富。MEMS技術(shù)已經(jīng)通過實現(xiàn)完整的片上系統(tǒng)，正在徹底改變許多傳感網(wǎng)產(chǎn)品和無線數(shù)傳模塊的類別。
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